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シリコン | 石英 | SiC | |||
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半導体に用いられるシリコンは、ケイ素の純度を99.999999999%(イレブンナイン)になるまで高めたもの。 | 二酸化ケイ素が結晶してできた鉱物。半導体製造プロセスに不可欠で、純度は99.99%(フォーナイン)。 | シリコン(Si)と炭素(C)が1:1で結合した化合物。電子素子の重要な素材となる。 | |||
製法 | 原料 | 製法 | 原料 | 製法 | 原料 |
CZ法 |
Si 単結晶 多結晶 |
電気溶融 | SiO2 | 焼結法 | SiC |
MCZ法 | 酸水素溶融 | CVD法 | |||
合成石英 | 昇華法 |